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目前，该事故原因正在调查当中，而ASML已经对外表示，具体损失及影响的产能规模，还需要时间评估，将会尽快向市场发布最新资讯。
受此事故影响，ASML股价下跌%。
方卓怒气冲冲，一通批评，本次受影响的就有冰芯采购的“落后”设备。
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