237 技术不眠(6k)(3/7)

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  前者需要更高的分辨率,需要更好的光吸收和图案传递。

  如果直接把中芯20nm工艺所用的光刻胶挪到冰芯16nm上面,会影响到芯片的尺寸精度和电路的完整性,更精细结构中也难以拥有合标的对比度,这就会让显影过程中难以区分图案和背景。…。。

  以及,不同工艺还存在兼容性问题,有可能出现残留物、桥接或缺失等工艺缺陷。

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